EPS150TESLA是一款6英wafer大功率（高压/大电流）测量解决方案的高性能手动探针台。优化的信号路径以及与主流厂商的测量仪表无缝集成，支持3 kV（三轴）/ 10 kV（同轴）和100 A（Pulse）/ 2A（DC）的测量。
EPS150TESLA是一款6英wafer大功率（高压/大电流）测量解决方案的高性能手动探针台。优化的信号路径以及与主流厂商的测量仪表无缝集成，支持3 kV（三轴）/ 10 kV（同轴）和100 A（Pulse）/ 2A（DC）的测量。TRIAX卡盘技术可使漏电降至fA级。屏蔽箱有效降低光、电、磁噪声，为测量提供安全的操作条件。
