EPS150FA是一款专为晶圆、器件失效分析，BUG定位而量身定制的6英寸手动探针台。EPS150FA探针台配置有高放大倍4000X数的显微镜系统，针座移动分辨率<1um,具有极高测量定位能力，可以探测至1um特征尺寸对象。
EPS150FA是一款专为晶圆、器件失效分析，BUG定位而量身定制的6英寸手动探针台。EPS150FA探针台配置有高放大倍4000X数的显微镜系统，针座移动分辨率<1um,具有极高测量定位能力，可以探测至1um特征尺寸对象。另外配置、升级均十分灵活以满足晶圆，器件失效分析时的各种应用场景。将EPS150FA探针台引入晶圆、器件失效分析，可以加速失效分析定位，终极缩短产品研发进程。
