EPS150TRIAX是一款专为低噪声fA级电流/fC级电容晶圆测量表征而研发打造的6英寸手动探针台。配置低噪声TRIAX卡盘、TRIAXL探针臂、探针以及电缆，支持开尔文连接，为晶圆、碎片以及单粒Die的高精度I-V/C-V测量表征提供了很大的信心。
EPS150TRIAX是一款专为低噪声fA级电流/fC级电容晶圆测量表征而研发打造的6英寸手动探针台。配置低噪声TRIAX卡盘、TRIAXL探针臂、探针以及电缆，支持开尔文连接，为晶圆、碎片以及单粒Die的高精度I-V/C-V测量表征提供了很大的信心。
