PAP200是一种高度精密8英寸真空或者压力半自动探针台系统,适用真空度<10E-5mbar或者压力4.0bar环境下的晶圆片和基片测试。探针座置于真空腔室中,先进的设计不仅使针臂更短、更稳定,确保测量稳定性、精度和一致性。
PAP200是一种高度精密8英寸真空或者压力半自动探针台系统,适用真空度<10E-5mbar或者压力4.0bar环境下的晶圆片和基片测试。探针座置于真空腔室中,先进的设计不仅使针臂更短、更稳定,确保测量稳定性、精度和一致性。这款探针台应用十分广泛,包括MEMS、光电等领域。PAC200支持多种光学仪器应用,如红外辐射源(黑体)。最多可集成8个探针定位器或一个探针卡。应用领域: IV/CV, RF/mmW,Opto,MEMS.