PAC200是一款高度精密8英寸半自动低温探针台系统，适用低温至77 K液氮冷却，或小于20 K液氦冷却环境下晶圆片和基片测试。探针座置于真空腔室中，先进的设计不仅使针臂更短、更稳定，能确保测量稳定性、精度和一致性。
PAC200是一款高度精密8英寸半自动低温探针台系统，适用低温至77 K液氮冷却，或小于20 K液氦冷却环境下晶圆片和基片测试。探针座置于真空腔室中，先进的设计不仅使针臂更短、更稳定，能确保测量稳定性、精度和一致性。这款探针台应用十分广泛，包括最新的硅基，复合半导体和超导体器件的直流和射频测量，MEMS和光电测试等。PAC200支持多种光学仪器应用，如红外辐射源（黑体）。最多可集成8个探针定位器或一个探针卡。应用领域： IV/CV, RF/mmW,Opto,MEMS.
