探针台选型的注意事项

※最大需要测几inch的晶圆或者器件?是否需要测试破片或者单颗芯片，最小的单颗芯片尺寸?

※探针台机械精度要求多高?

※点测样品的电极尺寸?100μm *100μm或60μm *60μm的pad，还是FIB制作的mini pad，或者ic内部的metal线路?

※最多需要几个探针同时去点测?

※是否会用到探针卡测试?

※光学显微镜的最小分辨率需要用到多少?

※显微镜方面，是否需要添加偏光片做LC液晶热点侦测?

※探针点测时，对电流的要求能否达到100fa或者以下?低

电容要求能否要做到0.1pf?是否有射频需求?

※接驳的测试仪器接口有哪些?

※测试环境时是否会需要加热或者降温? 是否需要密闭腔体?

※对chuck的漏电要求怎样?是否需要添加低阻抗chuck?

※是否需要防震桌?

※若添置防震桌，是否有压缩空气?