用于4端口晶圆上探测的混合校准

        对于4端口校准，我们将广为接受的LRRM校准与短开负载互通（SOLR）校准相结合，创建了一种混合校准，该校准利用了两种校准方法的优势来实现出色的4端口校准。

        系统校准对于从中获取准确的测量数据至关重要RF晶圆器件。

        在校准期间，将一组已知标准呈现给探针的尖端。我们对这些标准的了解程度是高级校准技术的关键考虑因素，因为它会影响精度。

        在过去的4端口校准中，我们仅限于使用短开路直通（SOLT）等方法。

        在该方法中，必须完全了解所有标准，包括通过标准。

        假设准确的标准定义可用，探头在负载，短路和开路校准标准上的位置变化将导致电气行为与定义的标准参数不同。另外，这些参数是一般化的，并且将受制于探针和基板的制造公差。

        4端口校准还有一个问题。由于探针的几何形状，两个推进器将是环回（图1），这是最坏的情况或交叉（图2），在许多情况下，它不存在于现有基板上。另一种替代方案（图3）是在Y轴上偏移探针，这应该提供更理想的推力但需要电动定位器并且涉及一些接触裸基板的尖端。

        直通行为可以与这些标准的经典定义显着不同，并且通常现有的多项式方法不能准确地描述它们。所描述的所有错误将随频率而变化。

        此外，随着端口（N）的数量增加，测量更多标准。对于直通结构，组合可以与N成比例2。由于对准变化，大量可能的探针移动增加了校准误差的风险。这一切都导致了校准精度误差。

        我们先进的2端口线反射 – 反射匹配（LRRM）校准技术已被广泛用于晶圆上使用多年。这种方法的主要优点是短而开放的反射是未知的，因此不太容易因为擦洗变化而导致探针错位。它们的主要前提是它们是对称的。至于负载，这种方法允许通过优化开路反射来计算负载电感。

        此外，SOLR校准已经使用了一段时间，因为在没有明确定义的情况下，这种技术根本无法获得，但是这种技术仍然需要明确定义的反映，如前所述。

        SOLR-LRRM混合动力车的优点在于它建立在两种校准方法的最佳基础上 – 即，未知反射，负载电感计算和两个未知的推力。

        使用4端口方法时，必须很好地定义两个推力，但这是直截了当的，因为它们是传统的直通结构，其中信号尖端彼此面对。

        然而，两个thrus只需要通过延迟估计进行倒数 – 它们可能有点不理想，并且cal仍然是准确的，这就是环回或交叉的情况。

        我们提供混合LRRM-SOLRWinCal XE校准和精度增强软件。

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