Summit 200-semi-atuomated是一款全球性能无论伦比的8英寸半自动晶圆测量探针台,专为半导体器件研发、器件表征/建模、可靠性分析、量产测试而设计,可用于低噪声直流、射频、毫米波和THz、硅光、MEMS等应用领域的全温范围(-60℃-300℃)内测量。Summit 200集成了诸多专利技术,全球独一无二的Contact Intelligence技术满足极端复杂的环境测量挑战,如无人值守测量小尺寸Pad以及多个温度下的测量。提供电磁屏蔽、光密和防凝露的测试环境,在所有的测量应用领域均表现出无论伦比的杰出测量性能。Contact Intelligence能力,全球独创的技术,保证Probes与晶片高质量的持续接触。创新的系统设计和先进的图像处理技术相结合,提供了一个独立于操作人员的解决方案,可以在任何时候实现高度可靠的测量数据。采用PureLine技术实现了目前市场上最低的噪音水平。专利AttoGuard和MicroChamber技术显著提高低漏电流能力和低电容测量能力。Summit 200产品的Summit 200-AP和Summit 200-M.满足超低噪声直流测量表征,TRIAX卡盘漏电最大分为别1fA和15fA.