Summit 12000是一款8英寸半自动晶圆测量探针台,专为半导体器件研发、器件表征/建模、晶圆可靠性分析、量产测试而设计,可用于低噪声直流、射频、毫米波和THz、失效分析、MEMS等应用领域的全温范围(-60℃-300℃)内测量。Summit12000集成PureLine和AttoGurad专利技术,PureLine技术实现了目前市场上最低的噪声水平,专利MicroChamber和AttoGuard技术提供电磁屏蔽、光密测试环境,显著地降低漏电使其可以满足fA级漏电测量和fC级低电容测量能力。Summit 12000产品的Summit 12000-AP和Summit 12000-M.满足超低噪声直流测量表征,TRIAX卡盘漏电最大分为别1fA和15fA.
Volex探针台控制软件实现屏幕导航、晶圆映射Wafer Mapping、对准、细分sub-Die等功能,同时集成温控系统、可以无缝连接各种分析与测量软件,包括射频WINCAL校准软件。
FormFactor在射频/微波测量领域首屈一指,有完整产品系解决方案,包括探针台、射频探针、针座、校准片、校准软件以及战略合作伙伴Keysight、VDI、OML、GORE等全球一流射频微波测量领域的专家。在射频微波领域可以完成1.1THz的晶圆、碎片、单粒以及封装的射频测量表征,同时也支持有源射频功率器件的Load-Pull、Tunner测量以及信号完整性测试。WinCalXE校准软件功能十分强大,支持1、2、3和4端口校准算法以及LRRM、LRM+、SOLT-LRRM,以及混合NIST风格的Multi-Line的RL校准,以及用于数据比较和增强的错误集管理能力,并且与Velox、Nucleus和ProberBench探测控制软件兼容,实施变温校准与测量,极大地保障了测量的一致性与稳定性。Summit 12000这一款可以满足上述射频性能的探针台。