CM300xi-SiPh是一款12英寸半自动/全自动硅光探针台，除了具备CM300xi系列的功能外，其在晶圆硅光测量领域的性能无与伦比，且是第一个经过行业验证过的光电子集成测试解决方案。可在安装后立即进行生产验证和最优的光学测量--无需进一步开发。独创的自主硅光SiPh测量助手提供了一整套完整地创新性校准和对准工具，强大的硅光SiPh工具软件包，以及所有的工具和夹具，使光子器的测试验证工作在几天内可以完成，而不是几个月或几年，大大加速了产品的开发验证周期和上市时间。
CM300xi-SiPh是一款在行业内已经验证过的集成性能，包括必须的配件、夹具、校准技术、算法等，保障安装完成后可以开启正确的测量。超一流的自动校准和对准技术，通过六轴电动调节马达，光波导探针根据耦合算法自动找光进行对准。CM300xi-SiPh 可配置单根光纤或者光纤阵列Probes,同时具有专门的Z-Displacement Kit用于调节光纤和Wafer的有效距离。丰富地硅光软件工具包，用于抓取、注册和分析收集的数据。
