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T300是一款半自动大功率探针台，为12英寸晶圆的全温-55℃-300℃、低接触电阻测量提供了一套完整解决方案，用于3K V （TRIAX）/ 10K V （COAX）和200 A（Pulse）/20A（DC）的功率半导体测量。
T300是一款半自动大功率探针台，为12英寸晶圆的全温-55℃-300℃、低接触电阻测量提供了一套完整解决方案，用于3K V （TRIAX）/ 10K V （COAX）和200 A（Pulse）/20A（DC）的功率半导体测量。结合Microchamber专利技术，配置大功率镀金卡盘，以确保低接触电阻，薄片处理和功率耗散。同时提供低噪声、完全防护和屏蔽的测试环境，以及经过认证的安全联锁系统，集成符合人体工程学的透明外部防护罩或红外激光光帘。
200mm手动真空探针台P
200mm手动低温探针台P
200mm半自动真空探针台
200mm半自动真空或压力
200mm半自动低温探针台
150mm手动真空探针台P
100mm手动低温探针台P
EPS150FA
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