PM300PS是一款12英寸半手动动晶圆测量探针台,为器件表征和建模、工艺开发、晶片级可靠性、故障分析和3D集成电路工程测试创造了一个不受电磁干扰(EMI)和射频干扰(RFI)的测量环境。这使得精确的低噪声测量成为可能,支持-60°C温度测量。静音模式技术在关键测量中能消除所有的电机马达噪声。这将能提供理想的条件即使在最敏感的测量应用中,诸如当使用电动元件,如定位器和显微镜运动产生的1/f噪音测量。应用领域:可以应用于低噪声IV/CV、射频微波RF/mmW、失效分析Failure Analysis 以及可靠性 WLR.
与PM300一样,通过配置相应的射频探针座、射频探针、校准片、校准软件可以完成mmW的校准与测量。