CM300xi with Loader是一款12英寸全自动晶圆测量探针台。性能参数完全继承了CM300xi半自动产品的特性。可以应用于低噪声IV/CV、射频微波RF/mmW、失效分析Failure Analysis 以及可靠性 WLR测量领域。CM300xi集成了诸多专利技术，全球独一无二的Contact Intelligence技术满足极端复杂的环境测量挑战，如无人值守测量小尺寸Pad以及多个温度下的测量。提供电磁屏蔽、光密和防凝露的测试环境，在所有的测量应用领域均表现出无论伦比的杰出测量性能。CM300xi产品有屏蔽CM300xi-S和全屏蔽CM300xi-F以及开放式CM300xi-O三个子产品版本。其中配置的前两者TRIAX卡盘漏电最大分为别3fA和15fA.
配有晶圆处理单元，该单元可以在SEMI标准Wafer盒中配置多达50张8英寸或12英寸晶圆片。
