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真空低温电学测试探针台的技术指标都有什么

2022/4/28 22:27:38      点击:

真空低温电学测试探针台有以下十五技术指标

1、温度范围:80 K-475 K;

2、制冷形式:采用液氮制冷;

3、循环时间:小于2.5小时;

4、4个直流探针臂,用来做电学实验,可进行直流到50 MHz的电学测量;

5、探针臂的可移动距离X方向51 mm;

6、*在一个探针臂上安装温度计,可方便实时监测探针温度,准确判断系统是否达到温度平衡;

7、*回温方式:防辐射屏上安装温度计和加热器,系统可进行快速回温;

8、采用四通道高性能控温仪,可分别对防辐射屏、样品台、探针臂进行控温和测温;

9、控温稳定性:优于±100 mK;

10、*显微镜系统光学分辨率优于4 µm,样品照明采用同轴光和环形光各一套;

11、*直流探针具有Guard保护结构设计,适合于进行微弱电信号测量,减少漏电流;

12、直流探针阻值为50欧姆,为射频RF测量提供很好的匹配阻抗;

13、*探针臂分别在防辐射屏及样品台上热沉,减少探针落针对样品温度的影响;

14、基础温度真空指标:约5 × 10-5 Torr;

15、 系统配备50 L进口液氮杜瓦.。

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